氮化钛(TiN)是一种极硬的陶瓷材料，在半导体器件中用作阻挡材料。由于其折射率(RI)，它有应用于光学涂层的镜子和滤光片。TiN可以使用原子层沉积(ALD)或离子束沉积(IBD)并使用蚀刻电感耦合等离子体(ICP)．
高材料质量，即使在低沉积温度。
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