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氧化锌

氧化锌(ZnO)是一种宽带隙II-VI半导体。它应用于ledbob综合app官网登录和透明导电氧化物(TCOs)。

它可以蚀刻使用电感耦合等离子体(ICP)而且活性离子蚀刻(RIE)．
氧化锌可通过原子层沉积(ALD)．

该工艺具有良好的表面质量和均匀性，低损伤蚀刻。

更多关于ICP 索取更多资料

高材料质量，通过掺杂和等离子体暴露将电阻率从半导体调整为导电。

更多关于RIE 索取更多资料
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