原子层蚀刻（ALE）系统

为了在合理的速率下实现真正的啤酒，需要精确控制气体流量和等离子体功率，所以PlasmApro 100 ale.通过专门的硬件提供这一点，包括：

• 使用快速作用MFC精确控制气体剂量
• 低功率RF递送的优异重复性
• 快速PLC启用快速切换

所有这些结合以使蚀刻在原子尺度上以精度蚀刻