用于生长1D/2D纳米材料和异质结构的化学气相沉积(CVD)和PECVD工具。PlasmaPro 100 Nano(原名Nanofab)通过原位催化剂激活和严格的过程控制提供高性能的纳米材料生长,具有高达1200°C的灵活温度。
优异的均匀性,可灵活温度高达1200°C
样品尺寸可达200mm
真空负载锁定-快速换样
可选的液体/固体源传输系统用于MoS的生长2,摩斯2和其他TMDCs
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bob平台下载手机版牛津仪器致力于提供全面、灵活和可靠的全球客户支持。我们提供优质的服务贯穿您系统的整个生命周期。
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PTIQ是针对PlasmaPro和Ionfab加工设备的最新智能软件解决方案。
气体豆荚-加入额外的天然气管道,并允许更大的灵活性
涡轮分子的真空泵-提供卓越的泵送速度和更高的吞吐量
光学端点检测器-实现最佳过程结果的重要工具
TEOS液位传感-使用安装在TEOS罐上的超声波液位传感器实现液位传感
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