离子光束系统

离子光束技术通过提供单个工具并最大化系统利用来提供一种非常通用的蚀刻和沉积方法。离子束蚀刻提供了最大的柔韧性以及出色的均匀性，而离子束沉积是其能够生产具有高质量，密集和光滑表面的沉积膜的理想选择。