地点：
格勒诺布尔，法国
bob综合app手机客户端业务参加：
血浆技术，纳米科学
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扩张
崩溃
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PlasmaPro 800的直径为460mm，可提供完整的300mm或大批量43 × 50mm(2”)产能，实现全面的生产解决方案，并使PlasmaPro 800成为经过充分验证的市场领先产品。
允许复合半导体，光电子和光子应用应用的最大工艺灵活性，PlasmApro 800提供：bob综合app官网登录
大的电极- 低拥有成本
蚀刻终点检测—可靠性和可服务性
通过激光干涉测量和/或光发射光谱检测端点检测-可安装加强蚀刻控制
4-，8或12行气体豆荚的选项-在工艺和工艺气体方面提供灵活性，可远程安装在服务区，远离主工艺工具
紧耦合涡轮泵-泵送速度快，基压好
数据采集- 可追溯性和腔室和工艺条件的历史
流体冷却和/或电加热电极优良的电极温度控制和稳定性
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PlasmApro 800 PECVD.
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