PlasmaPro 800的直径为460mm,可提供完整的300mm或大批量43 × 50mm(2”)产能,实现全面的生产解决方案,并使PlasmaPro 800成为经过充分验证的市场领先产品。
允许化合物半导体、光电子和光子学应用的最大工艺灵活性,PlasmaPro 800提供:bob综合app官网登录
大的电极-拥有成本低
腐蚀终点检测—可靠性和可服务性
激光干涉和/或光学发射光谱端点检测-可安装加强蚀刻控制
选择一个4-,8-或12线气舱-在工艺和工艺气体方面提供灵活性,可远程安装在服务区,远离主工艺工具
短背的涡轮泵-泵送速度快,基压好
数据采集-可追溯性和工艺条件的历史
流体冷却和/或电热电极优良的电极温度控制和稳定性
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