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我们想要通知客户，先进能源，我们的发电机的制造商已经宣布一些单位淘汰，我们能够提供优质的更换。
先进能源派拉蒙发电机是牛津仪器高频RIE、ICP和溅射工艺的最新构建规范。bob平台下载手机版通过使用数字控制和相位同步，提供了更高的可靠性和更大的等离子体稳定性。
| 过时的单位 | 新选项 | 特性 |
| RFG 1251 | 派拉蒙1.5千瓦基础发电机 | 13.56 MHz， <10ms调谐时间，功率精度±1 W或设定值的±1%，取较大值。 |
| RFG 3001 | 派拉蒙3千瓦的发电机 | 13.56 MHz， <10ms调谐时间，±1 W或设定值的±1%，取较大值。 |
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