快速准确的自动压力控制

该控制器确保非常快速和准确的压力控制。系统参数在安装升级后第一次启动时自动在工具内设置。自适应算法，控制器不断适应工艺条件(气体种类，气体流量)，从而确保在任何时候的最佳压力控制。

APC用于在前驱体的剂量步骤中限制泵送。对于反应缓慢的前体，或者需要沉积成高纵横比特征时，通常需要较长的曝光时间。