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离子束Anti-Contamination盾

离子束Anti-Contamination盾

新anti-contamination盾(ACS)不再需要进程内或交错清洁/空调的腐蚀源,腐蚀和沉积的来源都是用于给定的配方导致更高的吞吐量。为Ionfab anti-contamination盾(ACS)有两个主要功能:

  • 预防和/或减少气急败坏的材料从Ionfab目标沉淀到30厘米腐蚀源网格。
  • 预防和/或减少潜在污染溅射薄膜沉积在衬底的外来物质(即从商会家具)在离子束沉积(IBD)过程。尤其是旨在防止材料气急败坏的从后墙/衬垫由于外围离子束的过剩人口目标,到达衬底。

在Ionfab Anti-Contamination盾——牛津仪器bob平台下载手机版

好处

  • 显著降低腐蚀网格re-deposition
  • 减少腐蚀源污染
  • 降低了电网之间的片
  • 增加网格之间的平均时间清洁的清洁
  • 工具减少停机时间
Anti-Contamination盾(ACS)——牛津仪器bob平台下载手机版 要求定价

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