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LN2AUTOCHANGEOVER单位

LN2工作台冷却液切换的自动转换单元

bob平台下载手机版牛津仪器LN2自动转换单元使表冷却液自动切换液氮(LN2)和冷水机液,经由循环冷水机输送。该单元可以作为我们许多系统的升级,包括具有低温冷却电极的系统。

关键好处:

  • 节省成本和时间
  • 加速冷却温度范围200°C至0°C
  • 完全自动化的
  • 当需要快速切换模式时,擅长节省时间
  • 无人/过夜模式改变

主要特点:

  • 设定值范围:-150°C至+400°C (System 100工具)

兼容性和冷却

系统兼容LN2自动转换单元

  • 这种自动转换单元可以与所有新的或现有的具有低温表或RIE加热电极的Plasmalab/PlasmaPro系统一起使用。
  • 它也可以用来清除热桌的冷却液。
对比表显示了LN2热表辅助和非辅助冷却,提供了经过验证的时间和成本节约

对比表显示了热表辅助和非辅助冷却,提供了经过验证的时间和成本节省

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