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PTIQ是等离子技术系统的最新智能软件解决方案。它提供了一个特殊水平的系统控制与强大的调度和深刻的报告工具，解锁新的可能性，以提高处理效率和动态工作流。
PTIQ软件在实验室和Fab中优化系统和过程性能，使用不同级别的软件来满足设备需求。
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PTIQ屏幕布局
一种软件模块，通过SECS/GEM链接将Oxford设备连接到工厂主控制器，用于自动化设备
半导体晶圆厂。
PTIQ AnalytIQs是一套分析工具，可以最大限度地提高系统的正常运行时间，通过对数据的统计分析，可以更深入地理解和解释流程记录的数据。它们进一步扩展了PTIQ日志查看器，用于跟踪和分析所有系统参数。
下载手册高级模块测量，分析和报告的数据捕获，同时处理。
一套工程师分析工具对自我维护系统和故障排除至关重要，深入到电子设备的核心来控制设备。牛津仪器的客户支持工程师也可以使用这些工具。bob平台下载手机版
这个高级模块负责将配方、配置和流程运行数据定期备份到远程计算机。
这可以用于归档目的，也可以根据需要将数据转置以便进行外部处理。
如果您目前运行一个带有PC2000或PC4500的系统，并且希望升级到PTIQ，我们有几个可用的升级路径。完成升级后，您将自动注册牛津仪器软件保证协议。bob平台下载手机版
我们也有全网站的PTIQ升级计划;您可以以折扣的价格升级整个站点，以确保软件支持的连续性。
什么时候有空?
PTIQ现在有货。
自2020年2月以来，系统已经报价，正在建造，并与PTIQ离开工厂。目前，我们大约75%的产品线使用PTIQ，这意味着PlasmaPro 100、80和800目前正在为新软件设置。我们的新ATOMFAB系统也包括PTIQ。
在今年年底之前，它将在我们的Ionfab、Estrelas和Polaris系统上提供。
如果我有蚀刻系统和沉积系统，会是一样的吗软件和工作方式一样吗?
是的。新软件的一个重要目标是提供一致的外观和感觉，并找到操作所有系统所需的共同操作。
虽然会有一些显著的差异，但它们与所涉及的具体技术有关。这意味着，无论模块存在于相同的集群配置中，还是作为两个单独的单个模块工具并排存在，软件都将是完全相同的。
这是否适用于集群系统?
我们支持我们的三个系列产品PTIQ:开放负载，单模块和我们的集群系统。这三种类型的系统都具有相同的外观和感觉，并以类似的方式操作。
PTIQ触摸屏兼容吗?
我们设计的软件将通过触摸屏来控制，确保24英寸的触摸屏至少有1平方厘米的活动区域。虽然SEMI E95标准已不再有效，但它仍然有助于半导体资本设备的触摸屏操作界面。
PTIQ多显示器兼容吗?
这是我们的短期路线图。我们从一开始就在双显示器支持的基础上构建了这个软件，但这还不能在软件中激活，因为这个功能需要更多的工作才能完成。
一个参数(例如RF)可以通过一个循环从开始值和结束值分级吗?
这个功能正在开发的过程中，因为我们寻求支持更先进的深硅蚀刻工艺。我们的实现将在发布时对所有流程模块可用，而不仅仅是Estrelas工具。
你有这个软件的模拟器，我们可以安装在我们的个人电脑上进行测试或培训?
我们有一个模拟器/模拟器可以用于这一目的。例如，它可以很好地模拟硬件，包括一些简单的算法来模拟压力控制中涉及的物理。
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