牛津仪器的宽温度范围电极已经进行了重大的设计改进。bob平台下载手机版
电极重新设计升级的功能
- 在整个温度范围内(-150ºC至 +400ºC)的电极的结构强度提高
提供改进的电极的尺寸稳定性,保持上表面的平坦度,从而从晶圆上和从
- 向2kW的升级加热元件
向电极输送更多热量,从而减少温度升值时间,增加元素寿命和上表面上的温度均匀性
- 设计允许拟合两个温度探针
温度控制和过度限制“看守狗”条款
- 电极内的流体流量增加
在晶圆上提供更大的冷却性能,从而可以使用更广泛的处理参数
- 重新设计温度探针具有增加DC偏置能力
DC偏置功能提高了处理窗口,提高到1KV,高于先前设计的500V限制