牛津仪器小组的一部分bob平台下载手机版
扩张
应用

半导体和光伏

结构化底物广泛用于半导体和光伏研究与开发中。对设备质量和可靠性的高需求使得对此类设备结构的固有应变和结晶特性有详细的了解越来越重要。WITEC成像技术提供了机会,可以全面分析样品有关其化学和物理特性的机会。

WITEC成像系统提供了广泛的成像技术,可以在一个显微镜中灵活组合,以显着增加测量结果提供的见解。共聚焦拉曼成像提供化学信息,AFM检测样品表面的刚度,粘附等的地形,结构和物理特性,而SNOM高分辨率测量可以在光学上超出衍射极限。所有WITEC仪器配置都可以在任何时候升级,以使系统适应新的或扩展要求。


申请示例

LT GAAS样品的上升显微镜(Raman-Sem)。拉曼图像叠加在SEM图像上。拉曼图像:黄色:金底物;红色:GAAS。50 x 50 µm²,300 x 300像素= 90,000光谱,每个光谱的整合时间34 ms。
SI围绕SI太阳能电池装置上的激光孔孔的应力图。
gan层中结构的拉曼 - 塞姆图像。顶部:SEM图像;中间:X-y方向的共聚焦拉曼图像;底部:3D共聚焦拉曼图像。
集成电路的AFM图像。
晶圆上三个不同位置的同一样品区域的拉曼和AFM图像。

文学

申请注意半导体材料

申请注释组III硝酸盐和3D拉曼

申请注意太阳能电池

申请注意时间解决PL测量


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如果您想更多地了解有关个人应用领域的拉曼成像的可能性,我们的一位专家将很乐意与您讨论它们。

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