描述
薄膜光阑经常用于高分辨率的客观镜头和电子束光刻工具。这些光阑有优势,他们在梁加热并有效地自我清洁。这最小化散光引起的建立的碳污染。污染的少量存款漫长的手术后可能会在短时间内被加热孔径强烈聚焦的电子束。使用这种类型的孔径的好处尤其明显,当操作在低电压加速或小探头尺寸。薄膜光阑不应使用聚光透镜的他们可能会融化。当然,他们是更脆弱的处理和可以通过磨损不可挽回的损害或突然涌进的空气的真空系统。正常的公差孔直径±10%。紧公差洞±1µm公称尺寸可以提供额外的成本。光阑,异常高的标准,只有接受检查后扫描电镜检查孔的边缘的完美,圆度和缺乏销孔附近。
