EDX校准和运行状况检查标准块

• Mn(锰语，用于EDS探测器分辨率测试)。
• 铬(用于轻元素灵敏度测试的铬)。
• C(用于轻元素敏感性试验的碳)。
• 镍(用于灵敏度试验的镍)。
• 聚四氟乙烯(氟轻元素测试用聚四氟乙烯)
• (Cobalt用于量化优化)。
• Almandine Garnet(用于定量测试)。
• 法拉第杯(孔尺寸150um。用于精确的探头/标本电流测量。拥有稳定的探头电流对于获得可重复的分析结果是至关重要的)。
• 硅放大栅(用于扫描电镜内放大水平的校准。表面有明显可见的10µm的周期性方阵。分割线宽约1.9 μ m，由电子束光刻形成)。