等离子体系统ALD培训

课程名称：ALD训练

详细检查和探索系统的各种硬件块，软件诊断选项和系统的电气原理图。包括一些教室单元。

以下核心单元的现场设备培训妥协，可以根据硬件平台添加其他单元。核心单位
•系统H＆S
•系统健康检查和基准测试工具性能
•软件 - 使用服务模式隔离和诊断有故障的组件，编写食谱以自动化系统健康检查
•真空介绍
•用于识别系统健康趋势的日志查看器
•使用团队观看者进行远程帮助
•主要硬件组件的位置
•X20 CAND诊断观众
•EN13849（机械标准安全电路）
•RF匹配和自动匹配单元（AMU）
•基本维护程序
•故障识别和示例诊断
•处理配置包括晶圆位置
•可选候选人评估包括（多选择问题表）

您将学习：

• 设备和维护工程师的基本工具技能
• 如何从常见的症状中识别和纠正硬件问题

请注意：本课程无法在线预订。请提出报价请求，以获取更多信息，可用性和价格，并且有人会在2个工作日内与您联系。

该课程的内容适应了会议的人的需求和经验，包括：在工具上和周围工作的健康和安全，等离子蚀刻和沉积，系统概述和检查内部组件的错误查找，故障排除和预防性维护（理论和实践）（理论和实践）是主要主题。 这些课程使用您自己的牛津仪器系统在我们的英国总部或您的场所举行。bob平台下载手机版

培训的关键好处

为新用户和现有用户提供进行基本维护和故障诊断所需的知识，并最大程度地提高系统正常运行时间并增加自给自足。为了帮助新闻用户快速提高工具软件的正确使用，以最大程度地降低设备的风险。