AFM探针是一个尖锐的尖端,位于连接到探针支架的悬臂梁的自由端。典型尺寸为微米级,尖端半径为几纳米到几十纳米。
悬臂连接到毫米级的矩形芯片上,使用户能够抓住探针并将其放置在探针支架中,以便在原子力显微镜上使用。AFM尖端采用半导体行业首创的工艺制造。如今被称为MEMS技术的大多数探针由硅和氮化硅制成。
悬臂末端的尖端可以是不同的长度,尖锐或钝,并涂有不同的材料,以实现不同的扫描性能,包括更长的磨损、材料粘合和磁性。
除了针尖上的不同涂层外,悬臂还设计成不同的规格,以便更好地与扫描的样品和使用的AFM模式进行交互。例如,不同的频率可以使扫描更快或更慢,弹簧常数可以使与样品表面的相互作用更软或更硬。探头被视为耗材,因为它们会随着时间的推移而磨损。