EDX校准和运行状况检查标准块

• Mn (Managanese为EDS探测器分辨率测试)。
• 铬(用于轻元素灵敏度测试的铬)。
• C(用于轻元素灵敏度测试的碳)。
• 镍(灵敏度试验用镍)。
• 聚四氟乙烯(氟轻元件试验用聚四氟乙烯)
• (量化优化的Cobalt)。
• Almandine Garnet(用于量化测试)。
• 法拉第杯(孔尺寸150um。用于精确的探针/样品电流测量。具有稳定的探针电流对于实现可重复的分析结果至关重要)。
• 硅放大网格(用于扫描电镜内放大水平的校准。它标有清晰可见的周期为10µm的正方形。分割线宽度约为1.9 μ m，由电子束光刻形成)。