薄箔孔径3.04毫米直径× 0.25毫米厚，孔30um

薄膜孔径常用于高分辨率和电子束光刻仪器的物镜中。这些孔的优点是它们在光束中加热，并有效地自清洁。这样可以最大限度地减少由碳污染造成的散光。长时间操作后沉积的少量污染物可以用聚焦电子束短时间强烈加热孔径来去除。当在低加速电压或小探头尺寸下工作时，使用这种类型的孔径的好处尤其明显。薄膜光圈不能用于聚光镜中，因为它们可能会融化。当然，它们处理起来更脆弱，可能会因磨损或真空系统中突然涌入的空气而受到不可挽回的损坏。孔直径的正常公差为±10%。可提供距离标称尺寸±1微米的紧密公差孔，但需额外付费。孔径是按照极高的标准制造的，只有在扫描电镜检查孔边缘的完美性、其圆度和附近是否有销孔后才能接受。