AFM探针是一个尖锐的尖端,放置在悬臂的自由端,连接到探针支架上。典型的尺寸是微米级,尖端半径是几纳米到几十纳米。
悬臂连接到毫米级的矩形芯片上,使用户能够抓住探针并将其放置在探针支架上,这样就可以在原子力显微镜上使用。AFM尖端采用半导体行业首创的工艺制造。今天被称为MEMS技术,大多数探针是由硅和氮化硅制成的。
悬臂末端的尖端可以是不同的长度,锋利或钝,并涂上不同的材料,以实现不同的扫描性能,包括更长的磨损,材料粘结和磁性。
除了尖端上的涂层不同外,悬臂还设计成不同的规格,以便更好地与扫描的样品和所使用的AFM模式相互作用。例如,不同的频率可以使扫描更快或更慢,弹簧常数可以使与样品表面的相互作用更软或更硬。探针被认为是消耗品,因为它们会随着时间的推移而磨损。