XYZ Calibration Reference Sample for AFM/SPM">
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A/ r校准光栅-安装玻片
900.238
AFM/SPM的XYZ校准参考样品
描述
校准基准是一个5mm x 5mm的硅模具，校准区域位于芯片的中心。结构步高在100nm范围内，每个芯片的准确值在盒标上。芯片上集成了不同形状和间距的结构阵列。
较大的正方形(1mm x 1mm)包含间距为10µm的方柱和孔。较小的正方形(500 μ m x 500 μ m)包含圆形柱子和孔以及在x和y方向上具有5 μ m间距的线条。模具安装在一个15毫米的钢盘上。用于AFM扫描仪校准(XYZ)。
- 5mm x 5mm硅模具
- 步高- 100nm标称(准确数值在箱标上注明)
- 结构
- 中心1mm区域-圆形支柱和孔- 10um间距
- 同心5微米区域。带有额外X-Y线的圆形支柱和孔。5微米间距
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