EDX校准和健康检查标准块

• MN（用于EDS检测器分辨率测试的Managanese）。
• CR（用于光元素灵敏度测试的铬）。
• C（用于光元素灵敏度测试的碳）。
• Ni（用于灵敏度测试的镍）。
• PTFE（用于粉元元素测试的聚氟乙烯）
• （用于定量​​优化的钴）。
• Almandine石榴石（用于定量​​测试）。
• 法拉第杯（孔尺寸150UM。对于准确的探针/试样电流测量。具有稳定的探针电流对于获得可重复的分析结果至关重要）。
• 硅放大栅格（对于SEM内的放大率校准。它标有明显可见的周期性10 µm的平方。分隔线的宽度约为1.9 µm，并由电子束光刻形成）。