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快速力映射模式(FFM)

Celgard 3D原子力显微镜图像
木星XR显示200毫米晶圆被放置在样品卡盘上
数据表

快速力映射在木星XR AFM测量高速(高达2500赫兹)的力-距离曲线，同时捕捉图像中的每条曲线。实时和离线分析模型均可用于计算模量、附着力和其他性能。

  • 力-距离曲线映射模式，可在高达2500hz的z-rate下运行

  • 捕捉图像中的每个力曲线，没有丢失曲线或隐藏的数据操作
  • 捕捉挠度和高度传感器数据，以精确测量两个轴
  • 实时和离线分析模型可用于计算模量、附着力等性能。用户可以完全访问模型进行验证和修改。
  • 适用于10kpa ~ 100gpa的样品


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