高频蚀刻云母

高频蚀刻云母

使用Cypher AFM使用一个10µm悬臂梁，谐振频率为4.6 MHz，在hf蚀刻云母上的原子台阶的空气闭环交流模式图像。40hz线路速率。512 x 512像素。视频是实时的(每帧13秒)。在扫描速度为2.35µm时，扫描速度从230µm/sec开始;在扫描速度为132µm/sec时，扫描速度从1.35µm开始;在2008年11月的MRS会议上首次公开展示了这种速率的蚀刻云母成像。