扫描电容显微镜(SCM)

扫描电容显微镜(SCM)是一种功能强大的成像模式，使研究人员和工程师能够直接看到掩模和植入物对准和掺杂水平的微小变化和错误，并了解由这些问题引起的故障。

的最新发布的单片机模块Cypher和Jupiter原子力显微镜能够提供相同的见解，但与上一代设计相比，具有显着优势，包括更高的灵敏度，更高的分辨率，更快的成像，以及直接测量电容而不仅仅是差分电容(dC/dV)的能力。本应用说明描述:

• 供应链管理是如何工作的?
• 为什么庇护SCM模块提供更高的性能和独特的功能?
• 为什么直接测量电容比差分电容(dC/dV)更有用?
• 传统的例子半导体设备
• 以前与SCM不兼容的材料示例，包括那些没有天然氧化层的材料。
• 量子点

以下人士会对申请通知书感兴趣:

• 半导体行业的工艺工程师和故障分析工程师
• 科学家们研究微电子设备下一代半材料
• 科学家们正在研究其他先进材料，包括二维材料和能量储存材料

(左上)Asylum的SCM模块可以直接测量电容，而不仅仅是dC/dV。在这里，我们展示了一个通常用作SCM测试样本的SRAM样本。

(右上)单片机模块也可以比其他模块更快地捕获图像。该图像以8 Hz的频率扫描，比典型的SCM快8-16倍。

(右下)与dC/dV振幅数据不同，在该掺杂阶梯标准样品中，电容数据与掺杂水平呈线性相关。

(左下)更高的灵敏度使Asylum SCM模块能够对传统半导体(这里是碳纳米管)以外的样品进行成像。

(免费下载，庇护研究，原子力显微镜技术的领导者)