纳米操作在金丝EBSD分析中的应用

随着微电子器件的小型化和纳米技术趋势的增长，一个关键的不断增长的需求是对纳米级材料的微观结构的理解，以生产可靠的产品。这种规模的详细故障分析通常需要聚焦离子束(FIB-SEM)结合纳米操纵工具来提取和提升特定的感兴趣或故障区域。然后，通常在瞬变电磁法中对举升井进行分析和结构表征。这种分析是复杂的，并且在可以检查的区域大小上有限制。另外，电子背散射衍射(EBSD)技术可以应用于这些应用，无论是FIB-SEM还是配备EBSD系统的FEGSEM。bob综合app官网登录

本应用笔记描述了一种将牛津仪器公司的OmniProbe工具和AZtec EBSD系统相结合的方法，用于5μm直径的金微电子线样品的操作和分析。

下载此应用笔记，你会看到: