扫描电镜可以用来分析各种样品在1和2000000倍的放大。在日常例行分析,EDS通常是一个指向和单击流程,快速轻松地返回元素的信息。然而,有需要更改显微镜设置的场景,样品制备程序和分析获得更复杂的数据类型。
这是纳米尺度的一个例子,高分辨率EDS映射。
高分辨率EDS映射可以有效地使用3种不同的扫描电镜获得收购程序是:
- 传统的高千伏扫描电镜
- 低kV扫描电镜
- STEM-SEM
每个程序都有不同的优点和缺点,影响样本分析的方法是最好的。
传统的高千伏扫描电镜
SEM EDS分析的传统方法利用高加速电压,通常20 kv,拥有大量的工作距离。结果是一个空间分辨率(最大可检测特征尺寸),电子探针的大小是有限的,它形成的样本。
这是迄今为止最简单的方法为新手SEM用户获得高
决议EDS地图,因为大多数sem是一致的,在20 kV
标准EDS探测器几何优化。主要的垮台
方法是,电子探针是相当大的,返回坏的空间分辨率,最大功能大小,可以映射为大约1000海里(1µm)。
- 20 kV加速电压
- 工作距离10 - 15毫米
- 空间分辨率限制探针扫描电镜的大小
- 最大EDS地图空间分辨率≈1000海里
低kV扫描电镜
- 1.5 -10千伏电压加速
- 4 - 8毫米工作距离
- 空间分辨率有限体积的交互
- 最大EDS地图空间分辨率≈5海里
通过降低加速电压和工作距离、扫描电镜的空间分辨率大大提高,当显微镜形成更细电子束探针。kV分辨率低的改进可以看到即使在相对较高的电压10 kV,但为了达到最好的分辨率,加速电压5 kV应该使用或以下。
这将返回一个数量级EDS映射空间分辨率大于高千伏,与100至5 nm现在可溶解的特性。加速电压的选择现在支配空间分辨率,因为它定义了交互体积和x射线的产生。
STEM-SEM
另一种方法通过STEM-SEM高空间分辨率EDS地图,电子透明的样品,厚度≤100海里,是用来实现子10 nm的地图。通过操作加速电压,通常30 kV,电子通过一个示例使用干细胞探测器和成像,进而产生x射线进行EDS分析。我们看到显著地提高分辨率时由于EDS分析这些样本空间分辨率不退化的交互体积没有散装材料。这个方法返回高分辨率EDS分析很容易,然而,要求电子意味着样品制备透明样品可以更复杂和耗时。
- 20 - 30 kV加速电压
- 6 - 10毫米工作距离
- 空间分辨率有限样本厚度
- 最大EDS地图空间分辨率≈5海里
当比较高分辨率EDS倪超合金样品的地图(下图)使用低kV EDS和STEM-SEM收购,你可以看到这两种技术特性的< 20 nm很容易观察到。然而,对于这种材料一个重要决议改进是在STEM-SEM模式。
高分辨率EDS映射可以通过使用一系列在SEM方法。当决定使用什么技术,样品和显微镜条件限制因素。通过改变分析模式从传统的20 kv SEM,我们可以实现空间分辨率提高,数量级比标准20 kv SEM分析。
