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NanoAnalysis |博客
跨越长度尺度的EBSD:从概念到现实的对称

31作者:珍妮·古尔登

对称EBSD探测器包括许多创新。这是第一个CMOS EBSD检测器第一个商业EBSD探测器结合光纤耦合,提供梦幻般的灵敏度,和第一个实现超过3000pps的实时索引速度,解决实际客户问题。

当我们设计《Symmetry》时,我们首先讨论了探测器可以在真空下倾斜以改变屏幕位置的机制,我们仔细考虑了这是否真的是一个有用的功能,还是只是一个营销噱头。为了理解好处,我们坚持这个概念,并制定了适用于不同样本的不同工作流范围。我们的应bob综合app官网登录用程序专家审查了可能受益于主动倾斜EBSD检测器功能的不同应用程序类型。

在SEM中应用的典型长度尺度的一端,我们考虑了大样本。这些通常在厘米尺度上,由更大的颗粒组成,需要自动化的大面积映射来获得有统计意义的数据,如图1所示。反面是一种严重变形的合金,需要在亚微米尺度上进行分析。为了达到最高的空间分辨率,使用了电子透明TKD样品,图2。

图1一个蒙太奇的96个独立地图在一个钢焊接。该图显示了焊缝上FCC(蓝色)和BCC(红色)相的微观结构和分布。该样品直径约为5mm,这些数据是在工作距离为15mm时收集的

图2利用透射菊池衍射分析了高度变形的Al-Mg-Cu纳米晶合金,突出了复杂的纳米结构。在工作距离4mm处采集数据

为了优化分析条件,大面积作图需要较长的工作距离,TKD需要较短的工作距离。在这两种情况下,EBSD结果都可以通过移动检测器来优化图案中心的位置来改善,从而提供最好的结果。毫无疑问,要想在日常应用程序中应用这个功能,它必须易于使用。bob综合app官网登录

改变探测器的高度并不难。我们一直有SEM接口,可以手动上下滑动EBSD检测器。然而,这种手动操作需要打破真空,移动探测器,泵入系统,然后重新校准EBSD探测器,然后才能进行任何进一步的分析。当然,因为这既耗时又需要相当多的专业知识,所以这不是常规的解决方案。

我们知道我们需要一个所有客户都可以使用的实现,即一个通过软件用户界面控制的过程,它可以自动修正探测器几何形状的任何变化。

唯一真正的解决方案是将探测器屏幕高度的控制集成到AZtec软件中。通过这种方式,AZtec能够通过自动校准程序纠正几何形状的变化。此外,将探测器移动与软件连接,可以在软件界面中随着探测器屏幕仰角的变化主动监测图案中心位置的变化。这使得它很容易优化屏幕相对于样品的位置。最后,通过软件记录和监测屏幕高度,可以很容易地重复使用这些优化条件。

下面的视频演示了如何通过AZtec软件完全控制对称探测器的倾斜,使其易于实现,并具有可靠的结果。结果是,这是一个非常有用的工具,而不仅仅是一个噱头。

我们一直致力于帮助我们的客户找到问题的解决方案对称这就是我们的答案。要了解更多关于EBSD的潜力,以更好地进行研究,现在预订一个演示。

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问我一个问题 珍妮留有

珍妮·古尔登博士

客座博主& EBSD专家

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