12月17日

bob平台下载手机版Oxford Instruments的Atomfab®系统在市场领先的GAN Power Electronics设备制造商中获得生产资格

bob平台下载手机版Oxford Instruments等离子体技术是对主要复合半导体（CS）设备制造商的等离子蚀刻和沉积高量制造（HVM）溶液的领先供应商，具有其远程血浆原子层沉积（ALD）硝酸盐液体填充溶液，该溶液可通过一项良好的生产溶液，该解决方案由全部生产。总部位于美国的市场领先电力电子制造商GAN设备的第一阶段。

现在，基于GAN的设备已在消费市场中建立了良好的设备，并在商业上提供了广泛的快速充电器来支持移动设备。快速充电和较小的足迹是GAN技术的关键好处，并正在加快对消费者的快速采用。Atomfab ALD系统提供了满足HVM GAN设备制造商所有权所需的晶圆需求。

“ AtomFab能够通过独特的技术创新来大大降低每个晶圆的成本₂o₃牛津仪器ALD产品经理Aileen O’Mahony博士说，电影与Thermal Ald相比。bob平台下载手机版O’Mahony博士继续说：“将等离子体的预处理和等离子ALD的电影质量优势结合在一起而不损害吞吐量或质量是实现晶圆坡道并产生客户要求的步骤。”

AtomFab在具有半标准群集配置的单个晶圆平台上满足客户需求，并改进了最新复合半导体解决方案的过程控件。对于该客户，该系统完全无缝地集成到其制造线和Fab Automation软件中。

bob平台下载手机版牛津仪器服务总监Dean Furlong补充说：“工厂自动化和监视在Fab Manufacturing Lines中至关重要。与晶圆本身一样，与这些系统的集成同样重要。这些系统内置在所有牛津仪器生产设备中。bob平台下载手机版遵循行业标准使该客户能够将其工厂自动化软件快速连接到我们的系统中”

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为牛津仪器发行并代表等离子技术bob平台下载手机版