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半导体和光伏

结构化衬底广泛应用于半导体和光伏的研究和开发。对器件质量和可靠性的高要求使得详细了解此类器件结构的固有应变和结晶特性变得越来越重要。WITec成像技术提供了全面分析样品的化学和物理特征的机会。

WITec成像系统提供了广泛的成像技术,可以在一台显微镜中灵活组合,以显著提高测量结果提供的洞察力。共聚焦拉曼成像提供化学信息,AFM检测样品表面的形貌、结构和刚度、附着力等物理性质,SNOM高分辨率测量可以在光学上达到衍射极限。所有WITec仪器配置可以在任何时候升级,使系统适应新的或扩展的需求。


应用实例

LT GaAs样品的RISE显微镜(Raman-SEM)。拉曼图像叠加在扫描电镜图像上。拉曼图像:黄色:金衬底;红色:砷化镓。50 x 50 μ m²,300 x 300像素= 90000个光谱,每个光谱的积分时间为34 ms。
硅太阳能电池器件上激光钻孔周围的应力图。
氮化镓层结构的拉曼扫描电镜图像。上图:SEM图片;中间:x-y方向共聚焦拉曼图像;下图:三维共聚焦拉曼图像。
集成电路的AFM图像。
同一样品区域在晶圆片上三个不同位置的拉曼和AFM图像。

文学

半导体材料

第三组氮化物和三维拉曼

太阳能电池

时间分辨PL测量


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