9^th作者:金·拉森

使用大图进行扫描电镜分析

当我们在扫描电镜中分析样品时，第一步是找到样品上感兴趣的区域。传统上，我们通过使用电子图像导航，试图识别参考标记或易于识别的特征来做到这一点。

在AZtec软件开发的早期，增加了一些功能，可以方便地使用以前的数据转移到一个区域继续分析，可能是在不同的仪器上使用更多或更好的分析工具。

下一步是扩展该功能，不仅使用现有数据作为SEM分析的参考，还使用来自其他来源的图像，如光学图像或样品示意图。如果图像上可识别特征的位置与SEM舞台位置相关，则可以使用图像来定位SEM舞台，从而轻松地导航到感兴趣的特征。这种方法在很多情况下可以节省时间，并且它正在慢慢成为正常的工作方式，特别是当通过远程访问使用仪器时，在这种情况下，可能并不总是能够直接看到系统上正在发生的一切。

下面的视频展示了如何使用AZtec的图像配准来基于现有数据或导入的图像来定位样本。

一个典型的问题是，如果在分析期间必须完全覆盖大的特征，那么使用光学图像作为参考是非常有用的。在扫描电镜上，通常很难在一个视野内看到整个特征，因此很难正确设置分析区域。以图1所示的甲虫为例，我们想在自动化EDS分析过程中定义整个甲虫所覆盖的区域。如果不使用大图，就很难正确地定位SEM阶段，以便分析覆盖所需的区域，通常会导致在分析过程中不能完全覆盖特征。使用样品的照片使这一过程更加简单和快速。

图1 -左图为甲虫化石样本照片，感兴趣的区域用橙色矩形标记，右图为获得的化学图谱。

作为分析人员，当试图使用其他来源的信息来找到样本的正确位置时，我们也面临着同样的问题。如果我们试图定位样本以确保用不同的技术分析相同的区域，或者如果我们使用关于样本的现有知识来确保分析样本上的正确位置，这并不重要。

在所有情况下，AZtec的图像配准功能可以帮助确保在正确的样本位置进行分析。考虑到波动的全球限制，该图像配准功能允许用户在必须远程访问和使用SEM的情况下，仍然可以自信地对感兴趣的区域进行成像。

AZtec有许多特性，例如我们的图像配准功能，可以使远程sem分析更容易，用户可以采取许多操作，以便在进行远程工作时获得最大的成功机会。我们的一位内部专家在最近的一篇博客中深入讨论了这个问题应对“新常态”——远程扫描电镜操作与分析．现在就阅读全文，最大化你的时间和成果。

金正日拉森
高级产品科学家