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NanoAnalysis |博客
FIB提示和技巧-为TEM加热芯片制备薄片

8th作者:约翰·林赛博士

为了在FIB提出过程中提供最好的样品质量,旋转片层以优化铣削方向的做法越来越普遍以前的博客.结合OmniProbe旋转和显微镜工作台的标准配方已经计算出常见的薄片重定向,如平面视图(将薄片旋转90o)和背面变薄(将薄片旋转180度o).虽然这些标准食谱很容易执行,但开发一个工作流来做一些不太常见的事情仍然是一个挑战。

我们最近遇到的一个例子是为原位透射电镜实验,在这种情况下使用加热芯片。传统上,这些实验将局限于可以沉积在膜层上的纳米颗粒等样品(如我们最近关于高温EDS的博客所见)。通过使用纳米操纵器的全部功能,可以从大块材料中制备样品,用于在这些芯片上进行测试。这是通过在芯片上放置一个“近平”(接近平面视图方向)的FIB提出薄片,但以一个轻微的角度实现的。

如果将提出来的薄片平放(平面),就不可能使两面都变薄,因为加热芯片本身会阻塞FIB,但通过以一个轻微的角度放置FIB,可以在粘附到芯片后用于薄样品。下面是放置在加热芯片上的这个方向的一个例子。

AZtecFeature氧化铝
图1一个大样本举到加热芯片上的例子,左边的图像是片层的FIB图像,片层的两边都是可见的,这意味着它可以变薄。右边是片层的电子图像,两个表面都被磨碎,同时连接到芯片上。

为了生产这种样品,阶段和探针的旋转都进行了计算。所需的工作台和探头运动取决于探头z轴与样品平面之间的角度、FIB柱与样品平面之间的角度以及FIB柱与探头端口之间的角度。因此,一旦计算出来,它们就提供了一个可靠和可重复的工作流。

此示例使用的工作流如下所示。这个工作流程的一个怪癖是底部,因为当样品被旋转时,它很容易被看到。模糊的咬边不是一个问题,因为Omniprobe的线性运动意味着举升可以可靠地执行一个单一的点击。对于任何使用过旧系统的人来说,这确实感觉很奇怪,但它确实有效。

AZtecFeature氧化铝分类
图2FIB和电子图像显示出加热芯片的大块提升

可以旋转舞台和探针几乎任何方向都是可能的(舞台倾斜和预倾斜使更多的方向)。第一次尝试任何新的几何薄片制备是一个挑战,所以当开发新的工作流程。并且可以像标准的提升一样简单快速地完成。针对平面视图和背面等常见几何图形的工作流程已经开发和发布,这意味着这些先进的提升现在是例行公事。

要更好地理解这些工作流,或获取创建新工作流的建议,请与我们的应用程序专家之一联系。

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约翰博士林赛

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