11^Th2020年11月|作者：Sam Marks博士

在此博客中，我将研究碳污染的形成低下KV ED，以及可以采取什么措施来减少它。

碳污染 - 我的样品上的黑色标记是什么？如何将其删除？

我们经常收到来自客户的图像，如下所示，在EDS分析后，熟练准备的SEM样本被污染的黑暗区域覆盖。

使用SEM中的点和ID分析检查的SN球。在之前的图像上突出显示了两个实验点，后图显示了表面污染物的结果形成。

正在观察到的是碳基在样品表面的沉积中的碳基污染物。当电子束穿过碳氢化合物时，它们会解离形成纳米级碳糊。这是一个问题，在低加速电压下变得更加突出，因为电子束相互作用变得更加集中在材料表面上，而随着C X射线的产生，产生的污染物对光谱产生了负面影响。碳氢化合物的来源非常多样化，但通常分为两类：脏样品或脏显微镜。

在SEM分析过程中，消除污染的最强大方法是通过血浆清洁。提供一系列血浆清洁剂，大多数SEMS都配有原位血浆清洁剂是为了去除样品或显微镜室本身的碳氢化合物。如果在ED期间观察到大量污染，则运行血浆清洁剂30分钟通常会清除样品表面的任何碳氢化合物，并减少观察到的污染量。如果观察到污染，则应停止实验，并清洁样品。也有广泛的前场最常见的净化技术是血浆清洁，紫外线清洁，离子抛光和样品烘烤。按照针对每种设备的建议说明进行操作，如果烘烤样品，我建议从80°C开始，然后在成像样品之前烘烤2-3小时，这也适用于TEM！

和原位等离子清洁剂可在SEM柱上提供便利性。不同的净化方法都有一系列优点和缺点，使用多种技术来确保清洁样品并不少见。尝试可用的方法，以发现最适合您感兴趣的材料的方法。

在低KV工作时，碳污染会造成巨大的挫败感。希望这个博客为您提供了有关如何在SEM中打击污染的一些有益的想法，并可以使您从示例中获得准确和可靠的结果。我们的最终极端探测器可以在诸如生命科学，半导体和电池等材料表征的新途径上开放新的材料表征，因为其独特的能力。要确切地发现Ultim Extreme如何帮助您进行研究，请与我们的一位应用专家预订演示。

山姆·马克斯博士
极端产品经理