25th作者:马特·希斯科克博士
使用电子显微镜可以让你研究小到纳米的样品。我们从中获得的信息是非常强大的，并用于广泛的应用——从了解半导体组件的故障，到识别痕量法医证据，再到允许我们设计新材料等等。bob综合app官网登录当我们这样做的时候，经常会出现一个讨论:
“这是很好的信息，但我怎么知道它是更广泛的样本的代表，还是它只是解释了目前正在发生的事情?”我在这个视场中看到的东西和其他所有东西有什么关系?”
答案当然是，我们在显微镜上的单一视场中所看到的东西只能提供我们在那里所看到的东西的信息。通过扩展我们的分析来覆盖更多的视野，我们可以更多地了解我们的样本，并了解它在我们移动时是如何变化的。
手动对可能有100个或1000个视场进行此操作将是一项费力且耗时的工作。这就是自动化的用武之地。AZtec纳米分析套件包括自动化选项，使其能够接管对显微镜的控制-移动工作台，定位光束和控制所执行的分析。这同样适用于EDS或EBSD分析，并可用于绘图或粒子分析方法。使用我们最新一代的EDS和EBSD探测器，可以比以往更快地覆盖大面积的样品。在这篇博客的剩余部分，我将从几个方面介绍如何进行这些自动化的大面积分析，并展示一些优化自动化分析的技巧和有用的功能
设置大面积
样品有各种形状和大小，我们需要能够处理。AZtec为您提供了几种您想要分析的形状区域的选择:
- 矩形-由两个对角线相对的点定义
- 四边形——由4个角点定义(不一定是正方形或矩形)
- 圆——由3个点定义
- 点-由1点定义的单个字段
你选择使用哪一种将取决于你的样品的形状，但也有另一个因素-它有多平。
尽管我们尽了最大的努力，我们的样本并不总是完全平坦的，并且从一边到另一边有轻微的梯度。即使样品之间的高度差只有几分之一毫米，这也会导致问题，因为样品的部分可能会失焦，因此在获取的电子图像中无法清楚地看到——这在颗粒样品中可能是一个特殊的问题。
为了克服这个问题，我们将选择将我们的区域设置为四边形或圆形，这取决于形状。我们将把舞台驱动到我们希望用来定义区域的每个位置——一个四边形的4个圆的3个点。下一步是重要的一点-我们将工作距离设置为AZtec指定的推荐值，然后通过调整Z高度来聚焦。我们对每个点都这样做，这样我们就存储了X、Y和Z的位置(我们通常也会记录倾斜和旋转)。有了这些信息，意味着当我们运行我们的大区域时，Z高度将为每个字段插值，因此当我们移动时，样本仍保持焦点。
我的建议是，如果你有疑问，你应该总是调整Z高度，以确保你在定义你的区域的每一个点上都是聚焦的——最好多花一点时间，准确一点。
重叠的领域
关于大面积，我想讨论的第二点是使用场重叠。场重叠可以非常有用地确保，即使在舞台的移动中有一点不准确，你仍然能够收集一个完美的地图。这是因为我们可以在构成重叠区域的两个(或多个)字段中查看重叠区域的内容，并使用该内容来对齐这些字段——这可以在运行期间或事件之后自动完成。这对于作图和粒子分析同样有用——只要在重叠区域有东西可以处理。
接下来的两张图片展示了一个使用重叠进行图像对齐的例子——你可以在第一张图片中看到，在每个图像中，场将相遇的地方都有重复的粒子。
当这些图像使用对齐功能和重叠组合在一起时，我们最终得到下图-在这里不可能看到字段连接的线。
这将流经同一区域的大面积EDS地图-我们现在有了一个内聚数据集。
在分析大面积区域时使用重叠的另一大优势是可以防止在粒子分析中漏掉粒子。通过两次获取场的边缘，粒子被遗漏的几率大大降低。当然，这也带来了另一个潜在的问题——重复计算。为了克服这个问题，对重叠区域应用了特殊的规则，以确保粒子只计算一次。
重叠在其他方面也帮助我们——比如允许我们重建被场边界破坏的粒子——我之前在这个博客上讨论过重建——阅读更多在这里．
在这些博客中，我只是真正地触及了你可以用大面积自动分析做什么的表面——我将在以后的文章中再次讨论这个主题。
然而，即使在这个快速的讨论中，我希望您已经能够看到，通过使用自动化，我们可以覆盖更大的区域-并且使用探测器Ultim马克斯或对称S2这可以很快完成。通过巧妙地利用AZtec NanoAnalysis套件内置的功能，我们可以确保获得最高质量的数据——在这种情况下，以完美的地图形式显示样品在其表面的变化。
