4th2021年8月|作者:金拉森
大面积映射(LAM)是一个功能在阿兹特克,允许单个字段数据采集(一个图像采集或映射)重复许多邻近领域覆盖面积大。这样可以得到一个数据集,具有较高的空间分辨率,同时提供一个低放大率概述结合波束扫描和舞台动作。EDS分析在平面样品这个功能很容易使用推荐的EDS分析工作距离。然而,EBSD分析了在高倾斜,一般70度,这意味着有一些考虑前一个必须收集数据,如:
- 如何定位或东方舞台上的样品或样品持有人
- 使用哪个工作距离吗?
- 使用哪个放大?
- 潜在的校准步骤
取向的样本
在数据采集期间,阿兹特克是样本字段,字段会自动移动,所以重要的是,样品定位的方式,这样这些运动是安全的。在初始设置,通常4点被定义在样品表面(x, y, z)允许阿兹特克来计算z轴在舞台上应该如何调整,以保持样品表面在焦点移动x, y轴将字段的视图之间的阶段。这很重要,否则样品可能会搬出关注如果样品表面SEM阶段平行安装。
图1 -阿兹特克兰姆的安装向导
这也意味着如果你使用细长的样品或样本的增加,这是一个优势山示例,以便最长的方向是沿着倾斜轴。这将减少运动对磁极片的数量,从而使它安全移动样品在扫描电镜室。值得记住的是这个如果你使用pretilt持有人,因为这将有助于减少所需的z运动。建议在下面的图2说明了样本取向。
图2 -推荐方向的细长的样品扫描电镜室。
工作距离
通常情况下,我们选择一个工作距离所需的空间分辨率的基础上分析或一般推荐工作距离基于安装探测器的位置。然而,对于大面积的映射,我们也需要考虑安全和移动示例所需的空间。在数据采集工作距离保持不变。这意味着分析必须发生在WD示例可以感动足以支付所需的区域。通常情况下,一个大样本的分析需要使用更长的WD比小样本分析。实际值取决于SEM(极片的形状)和设置(探测器),但作为一个经验法则,将最低WD(大约)相当于样品的宽度。再次,思考方向在图2所示。
通常,这意味着使用基于探测器的WD超过所需的设置,但是这不是问题的高程控制对称探测器可用于定位检测器,好好长WD收购几何。使用高程控制也可以增加信号的方式对EDS探测器如果两个同时使用。这是早先所示博客博士帕特Trimby。
放大和强度方面的考虑
单场分析,选择放大基于所需的空间分辨率的数据和分析的区域是多大。最低的实际放大SEM列通常是有限的和潜在的低放大扭曲。在映射大面积,重要的是要考虑放大与映射数据,特别是如果EDS数据被收集在同一时间。
由于几何,EDS强度将会改变在一个视野,这意味着如果相邻的地图拼成,可以有明显的强度差异的地图。这种效应通常是不如果EDS观察收集数据在0倾斜在EDS推荐工作距离探测器,强度变化是对称的视场的中心。通过使用一个不同的工作距离和工作在高倾斜,这种对称不再是维护和计数率变化变得可见随着立体角的变化。
这并不总是一个问题的分析;不过,我们可以减少通过影响工作在更高的放大倍数,通过缩回EDS探测器或通过使用一个准直器有一个很大的开放——所有有助于减少立体角的变化在每一个领域。此外,考虑EBSD探测器的位置相对于样品。EBSD探测器也可以最终跟踪EDS信号,从而创建一个梯度,将显示在物理样本的高强度和强度随着光束移动身体向下倾斜的示例,请参见图3。
考虑也可以看到类似的效果在某些情况下,由于电子图像探测器的位置。
图3 -计数率差异由于几何形状的影响,发现光束扫描下方的样本和向上,导致更高的计数率的顶部的视野。
最快的方式找到最好的妥协的放大和探测器位置,一般来说,获得一个小测试地图和比较元素映射强度在顶部和底部的地图和图像。
字段之间的对齐
对阿兹特克能够收集数据从相邻的字段定义重叠,重要的是长度尺度和舞台动作正确校正。这通常不是你需要担心这么一个用户将在系统安装已经完成。你需要确保是阿兹特克知道样品倾斜,这些信息被用来计算梁的长度范围,从而运动和舞台的方向垂直于轴倾斜。
在某些系统之间的关系波束扫描方向和阶段运动方向不是常数而是变化与工作距离和千伏。从而可以改变实验之间的SEM条件改变或它可能改变相比,当系统最后一次校准。如果这个关系(旋转扫描)不是常数,那么它将是可见的在拼数据字段旁边对方将抵消如图4所示。
图4 -失调领域由于扫描旋转变化(注意到步骤2 x3蒙太奇的边缘)
为了克服这个问题,有一个面向用户的校准步骤,样品追踪的功能,而在x方向上移动。这一步可以访问的辅助软件,然而在大多数系统上这不是一个要求,作为基于扫描电镜SEM扫描方向自动调节校准数据。此外,EBSD分析,我们调整扫描旋转修正样本对齐过程中为了确保绝对的方向是正确的,这也保证了领域之间的比对是维持大面积映射。
图5 -用户面对舞台校准步骤,样品沿着一个轴和图像相关性是用来识别阶段的关系x, y运动和电子图像的方向。
收购大面积映射是一个有用的功能,允许您生成一个低放大率的概述大面积同时也保持很高的空间分辨率。这篇文章有希望提供一个好的概述你将遇到的问题在执行大面积使用EBSD映射,以及如何应对它们。
