生物医学设备,如传感器和药物输送补丁带来一个有趣的挑战在材料制造由于基质的严格要求,热预算等等。这篇文章概述了五个例子从文学的等离子体和热过程在牛津仪器等离子体技术在医疗工具用于应用程序。bob平台下载手机版bob综合app官网登录

1。氧化锌纳米线传感器的使用ALD和离子束刻蚀过程¹

南安普顿大学的研究人员已经开发出一种pH传感器的敏感性下降到46.5 mv / pH值。该设备是使用一个制作的原子层沉积(ALD)过程氧化锌层蚀刻然后anisotropically 40 nm纳米线。这个过程是可伸缩的6“晶片,并使用标准光刻技术。

2。ALD沉积氧化锌的基础药物释放层²

实验室生物医学技术(IMTEK)弗莱堡大学直接沉积氧化锌成电影聚乙二醇的形式释放的基质材料。他们存款这一层的导电聚合物上改变其渗透率基于电刺激。他们观察使用fluoroscein控释。这里的关键要求是< 150⁰C热预算氧化锌沉积。使用一个蛋白石系统研究人员能够沉积氧化锌在温度低至50⁰C。

3所示。如果微药物交付补丁程序bob综合app官网登录

bob平台下载手机版深反应离子刻蚀(驱动)过程被广泛用于高纵横比针的制造应用于皮肤的药物或子测微针为胞内接口由华盛顿大学西雅图分校的科学家们展示了bob综合app官网登录³。在这个过程中一个RIE过程用于磨230μm硅柱宽度200海里的小费。它们封装单个针在聚酰亚胺支撑结构来演示一个灵活的神经植入装置。

4所示。保护介电层保护femtomolar SOI纳米线生物芯片的敏感性⁴

等离子体增强的退化过程所使用的是俄罗斯科学院研究人员证明与非晶态氧化铝涂层硅纳米线传感器没有不利影响的敏感性,这些设备,并提供改进的稳定液体的好处。

5。使用电激电浆纳米颗粒生物分子检测⁵

nanobiophotonics部门和部门之间的协作的莱布尼兹研究所量子检测光子技术在耶拿,德国科学家们使用metal-dielectric-semiconductor异质结构的电兴奋等离子体模式。“肾上腺脑白质退化症”是用于存款艾尔₂O₃介质层,行为的超导隧道结在应用电压产生表面等离子体激元基于隧道电流的波动。使用这种技术,他们证明生物检测使用牛血清白蛋白(BSA)形成识别层金属纳米颗粒。然后一个analyste组成的专门结合BSA抗体(anti-BSA免疫球蛋白)被发现使用这些生物分子的结合引起的光谱变化。

引用:

1。太阳等。微电子工程153 (2016)96 - 100
2。Boehler et al .,科学报告19574 (2016)
3所示。Hanein et al ., j . Micromech。13 (2003)S91-S95 Microeng。
4所示。波波夫et al .,半导体,50岁(2016)632 - 638
5。Dathe et al,纳米列托人。2016年,16日5728−5736

作者:拉维博士他