MEMS使新一代的探测器能够进行有效的测量，例如运动传感和医疗诊断

微/纳米电力机械系统（M / NEMS）和传感器已通过用于消费者和商业产品的多个设备进行了充分的建立。这包括智能手机，汽车，游戏机，导航助剂，无人机和生物医学设备。这被设置为随着物联网（物联网）的增加，超出其当前功能。