等离子体设备培训

详细检查和探索您的系统的各种硬件模块、软件诊断选项和电气原理图。

你将学习:

• 在维护前对工具性能进行基准测试
• 如何进行必要的技能，如返回AMU
• 如何识别和隔离硬件问题使用服务模式
• 欣赏联锁方案，正确解读报警信号

离子设备培训

你将学习:

• 基本的系统健康检查和基准测试
  工具的性能
• 软件的源控制器，状态和错误代码
• 关于离子源和中和剂
• 故障诊断场景，合理解读告警信号

等离子体维护培训

你将学习:

• 如何对工具性能进行基准测试并对Plasma系统进行健康检查
• 等离子体平台电极和源的拆卸和重建。
• 主要硬件模块和内部电气结构
• 理论单元介绍了联锁方案、PLC和射频
• 如何使用日志查看器和诊断查看器来识别故障硬件
• 样品架的全面审核
• 通过一系列预先设置的故障场景练习诊断技能

课程可以根据学员的背景、经验和需要进行调整。

离子束维护培训

你将学习:

• 如何对工具性能进行基准测试，并对离子束系统进行健康检查
• 离子束平台离子源、中和剂和栅极的拆卸与重建。
• 离子束机械标准安全电路
• 如何使用日志查看器和诊断查看器来识别故障硬件
• 如何在一系列预先设定的故障场景中练习诊断技能

根据参加人员的需要和经验，可以增加额外的培训单元。