碳化硅和氮化炮功率设备

有效的电源开关和转换设备用于使新技术（例如电动汽车和本地电源创建和分销网络）成为可能。

通过使用材料（例如sic和甘意味着较低的能量损失。bob平台下载手机版牛津仪器对如何通过其流程解决方案（例如原子层沉积，，，，血浆蚀刻和血浆沉积。

电源设备解决方案

我们的原子层沉积（ALD）流程提供了极好的剂量钝化/Algan降低阈值电压转移
atomfab是我们最新的ALD技术创新，专门为GAN和RF设备制造设计。
我们的gan蚀刻优化过程以减少血浆损伤并产生光滑的蚀刻轮廓
对于超低损伤，蚀刻速率只需几nm/min即可，仅10-30nm的受控蚀刻艾根
sic通过蚀刻以优异的侧壁质量达到高率
SIC特征蚀刻显示光滑的蚀刻表面，以实现最佳设备性能

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Atomfab ALD系统

AtomFab是我们在ALD系统技术方面的最新创新，可为GAN POWER和RF设备提供快速的步伐，低伤害，低COO生产等离子体ALD处理。

出色的电影统一性
低补偿损失
竞争性首席运营官

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SIC孔蚀刻SEM图像

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SIC孔蚀刻特写SEM图像

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光滑而垂直的SIC特征蚀刻

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