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量子解决方案

bob平台下载手机版牛津工具等离子技术为量子系统中关键组件的制造提供了最先进的过程解决方案：

深si蚀刻为了使TSV启用量子电路的3D整合。DSIE通过Bosch或Cryo Etch提供光滑的侧壁蚀刻Sinx，，，，INP和GAAS用于光学量子技术中的集成光子组件。
原子层沉积（ALD）的

量子位，量子电路，微波谐振器和单光子探测器的超导材料，例如NBN和锡和更多
电介质（例如al₂o₃，，，，Aln和棕褐色）在约瑟夫森连接处的隧道屏障
al₂o₃作为用于制造钻石光学成分的钝化层（微腔，纳米孔，波导等）

PECVD和ICP CVD的Sinx低氢含量用于低损坏波导和Sinx用作钻石结构的硬面膜
CVD用于应用的2D材料作为单光子发射器，例如bob综合app官网登录WS₂和mos₂
超导金属蚀刻，例如NB，，，，ta，，，，al
反应性离子蚀刻（RIE）为了平滑，低损伤的钻石稀疏，可终止，以进一步保护NV中心。

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白皮书

网络研讨会

我们提供量子设备处理解决方案：

超导量子和量子电路

超导氮化物的ALD，例如NBN，锡
隧道屏障的ALD，例如al₂o₃，Aln
超导金属和硝酸盐的血浆蚀刻
深层硅蚀刻，用于通过（TSV）进行3D整合的硅蚀刻

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基于钻石的量子系统

钻石表面和功能的血浆蚀刻
等离子蚀刻以创建表面以进行有效的光收集
Sinx硬面膜沉积，例如si₃n₄

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光子学的量子集成电路

SNSPDS超导氮化物的原子层沉积
高温，SIH₄和NH₃- si的无PE（ICP）CVD₃n₄对于低损坏波导
光学组件的等离子蚀刻（例如，光栅，波导）

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什么是量子技术？

量子技术是指下一代计算，通信，模拟和传感技术，该技术依赖于单个原子，电子或光颗粒（光子）的两个关键特征：叠加和纠缠。

叠加使这些量子系统能够一次生活在多个状态中，而纠缠使它们可以共同依赖，从而使它们可以在网络中连接到网络，同时仍然充当一个系统。

量子应用bob综合app官网登录

在世纪之交中了解量子世界的机制使得当今使用了一些最广泛的技术，例如闪存，超导体，激光器和LED。今天，我们看到了新一代量子设备的演变，这些设备超出了量子效应的开发，并依赖于对量子状态的操纵。

量子技术现在正在实现新一代的光子学和电子应用程序，从量子计算到解决看似棘手的问题，导航传感器，原子钟传感器和安全数据通信。bob综合app官网登录

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广泛的过程

这个快速发展的技术领域需要广泛的量子材料工艺，以进行高精度设备制造。

bob平台下载手机版牛津工具等离子技术提供了量子技术研发和设备开发的艺术材料沉积和蚀刻过程的状态。利用我们在材料的等离子体蚀刻和沉积方面的强大专业知识，我们使研究人员和工程师能够使用各种材料，并建立关键的量子设备组件，例如单光子探测器，量子互连，隧道连接，隧道连接，集成量子光学/光子学，，量子光学/光子学，，氮空位中心等等。