牛津仪器小组的一部分bob平台下载手机版
扩张
处理解决方案
VCSEL

VCSEL制造解决方案

VCSEL(垂直腔体发射激光器)目前正在通过3D传感应用进行成功。bob综合app官网登录我们的VCSEL设备制造解决方案以最大收益率支持出色的电流性能。

  • 非选择性GAAS/藻类带有光滑侧壁的蚀刻,在单个层上没有切口
  • PECVD,,,,ICP蚀刻Rie用于掩盖,钝化,台面或隔离
  • 高度精确的台面蚀刻深度通过超低的立足点和完全自动化的端点控制实现
下载小册子

可靠地制造VCSEL

简化的过程流。橙色工艺显示了牛津仪器技术涵盖的解决方案。bob平台下载手机版

要求定价处理

一个经过验证的过程

在牛津bob平台下载手机版仪器等离子技术中,我们在VCSELS的台面制造中取得了巨大的成功。我们反复证明了VCSEL台面的高精度制造,从掩盖到150mm晶片上的台面蚀刻,设备通过加速寿命测试。

台面均匀,平稳地蚀刻,并具有超低的基础。全自动端点检测可以帮助该过程,从而可以对MESA高度进行良好的控制。

我们的VCSEL解决方案以最大产量为出色的电流性能提供了出色的功能。利用我们在等离子体处理方面的强大专业知识,我们使VCSEL制造商能够以高质量生产大量的激光器。我们当前的解决方案在最高150mm的基材上证明了生产,并且均为200mm的底物兼容。

VCSEL应bob综合app官网登录用程序

VCSEL启用了用于自动(自动驾驶)车辆的3D传感,手势识别和激光雷达等技术。由3D传感支持的面部识别已被多家高端智能手机制造商采用,并为多个新应用程序开辟了道路。bob综合app官网登录这些应用程序bob综合app官网登录现在正在推动VCSELS的低功率转移到高功率操作。

VCSEL被用作红外光发射器,以照亮物体感知。由于其独特的设备特性,包括低光束差异,温度稳定性和低功耗,因此它们为该应用程序提供了理想的光源。

我们的VCSEL解决方案具有出色的均匀性,可最大程度地性能。

VCSELS的血浆处理系统

可以通过我们的高级血浆处理解决方案来实现浆果100平台,该平台已配置为高量制造,最大为200mm晶圆尺寸。

我们的PECVDICP-Rie解决方案包括各种步骤,例如掩盖,钝化,台面或隔离。bob平台下载手机版牛津仪器与复合半导体社区紧密合作的历史悠久,以提供最高的设备性能和制造效率。

从3D传感的高功率转换效率到数据通信的高稳定性,我们提供了制造过程以实现目标性能。

下载小册子

相关内容


相关产品