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“肾上腺脑白质退化症”

“肾上腺脑白质退化症”

  • 良好的过程控制
  • 优异的薄膜阻隔性能
  • 几乎针孔免费电影
啤酒

啤酒

  • 高选择性
  • 低伤害
  • 良好的一致性
DSiE

DSiE

  • 精密蚀刻过程
  • 高选择性
  • 高纵横比
离子束系统

离子束系统

  • 多种晶片处理选项
  • 多个模式功能
  • 单晶圆负载锁定或集群晶圆处理
ICP刻蚀系统

ICP刻蚀系统

  • 高密度
  • 低压
  • 宽温度范围
ICPCVD

ICPCVD

  • 优良的品质
  • 低伤害的电影
  • 宽温度范围
化学汽相淀积系统

化学汽相淀积系统

  • 带淋浴喷头的冷壁设计
  • 良好的温度均匀性
  • 1200oC
PECVD

PECVD

  • 良好的一致性
  • 高速率的电影
  • 优良的薄膜性能控制
RIE蚀刻

RIE蚀刻

  • 各向异性干蚀刻
  • 快速一致腐蚀
  • 高的泵送能力
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