化学气相沉积(CVD)系统

化学气相沉积(CVD)技术是研究纳米材料的主要手段。这种技术的灵活性允许沉积到原子层以及更厚的薄膜。PlasmaPro 100 Nano通过原位催化剂活化和严格的过程控制提供高性能的纳米材料生长。