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虚拟的
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等离子体技术
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气体豆荚-加入额外的天然气管道，并允许更大的灵活性
LogViewer软件- Datalogging软件允许实时图形和后运行分析
光学端点检测器- 实现最佳过程结果的重要工具
软泵- 允许真空室的缓慢泵送
涡轮分子的真空泵- 提供卓越的泵送速度和更高的吞吐量
X20控制系统-提供了一个未来的证明，灵活和可靠的工具，增加了系统的“智能”
高级能量派拉蒙发电机-提供更高的可靠性和更高的等离子体稳定性
自动压力控制- 该控制器确保非常快速和准确的压力控制
双CM规开关- 提供通过单压控制阀利用两个不同范围的电容压力计范围的能力
ln2自动编程单元- 使台式冷却流体自动切换在液氮（LN2）和冷却器流体之间
Teos液位传感-使用安装在TEOS罐上的超声波液位传感器实现液位传感
宽温度范围电极-显著的设计改进，以提高过程性能
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