ICPCVD工艺模块的设计是在低生长温度下生产高质量的薄膜,通过高密度远程等离子体实现了高质量的薄膜和低基底损伤。
该ICPCVD工艺模块的设计是在低生长温度下生产高质量的薄膜,通过高密度远程等离子体实现卓越的薄膜质量与…
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