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扩大

离子束

Ionfab是我们用于增强现实(AR)应用的倾斜表面浮雕光栅蚀刻的最新解决方案。bob综合app官网登录

  • 大均匀面积高产
  • >45°角使高效率光栅耦合器
  • 工艺灵活性的一系列设备设计
  • 精确定义光栅角度,具有高度对称的特征
  • 可扩展性超过200毫米晶圆面积
  • 使用牛津仪器的创新技术(正在申请专利)对一系列光栅角度进行高度均匀的蚀刻bob平台下载手机版
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要求定价

AR应用的精确性和可扩展性bob综合app官网登录

虽然许多技术都被认为可以提供真正的沉浸式AR体验,但波导方法一直受到微软Hololens和Vuzix等主要厂商的青睐,因为它能够实现高视野。

我们在大面积蚀刻倾斜光栅方面拥有多年的专业知识,我们的解决方案旨在提供高产量所需的制造质量。

我们支持制造商达到最佳的光学效率与倾斜角度范围可用。

高产量器件制造

我们用于IBE的Ionfab系统已配置为市场领先的200毫米晶圆尺寸均匀性。

我们的专有离子束技术和专利网格设计使我们能够生产精度极高的标准45°光栅。我们的加工能力涵盖各种材料,如硅和硅2

集群配置选项可用,使用现场验证,高度可靠的真空转移机器人。

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SiO2倾斜光栅AR扫描电镜
Cr AR SEm

高质量离子束蚀刻

卓越的工艺重复性和低拥有成本使Ionfab工具成为从研发到批量生产的可配置的优秀系统。

关键好处

  • 高级研究应用的灵活配置bob综合app官网登录
  • 无与伦比的均匀性和生产过程的再现性
  • 灵活的硅片处理能力-单片负载锁定或卡带到卡带机器人处理器
  • 大均匀面积高产
  • 精确定义光栅角度,具有高度对称的特征
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IBE加工室原理图

晶圆片放置在衬底支架上,支架倾斜面向离子源。基片支架的角度可以调整为启用角度蚀刻。

全球客户支持

bob平台下载手机版牛津仪器致力于为全球客户提供全面、灵活、可靠的支持。我们在您系统的整个生命周期内提供优质的服务。

  • 远程诊断软件提供快速简便的故障诊断和解决方案
  • 支持合同可用于适应预算和情况
  • 全球备件在战略位置,快速响应

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