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铝铝是硼族中的一种无磁性的延展性金属。铝在金属互连中bob综合app官网登录有应用，也被用作某些材料的硬掩模。铝及相关薄膜可干蚀平整使用电感耦合等离子体(ICP)或使用离子束沉积(IBD)技术。
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