二氧化钛

二氧化钛(TiO2)折射率为2.488,2.583或2.609的散装材料取决于哪种形式。它可用于镜面或滤光片的光学涂层。此外，TiO2具有较高的介电常数，可作为生物相容性材料，可作为耐腐蚀层，并具有光催化性能。

TiN可以使用原子层沉积(ALD)或离子束沉积(IBD)并使用蚀刻电感耦合等离子体(ICP)．

二氧化钛

高度各向异性剖面。
小面积倾斜蚀刻也可以。

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高材料质量，低损伤，即使在低沉积温度。
另外，在使用衬底时，对上偏置选项FlexAL属性可以进行调优。

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