单负载制动系统

我们的单负载锁定过程模块提供了一个200毫米平台单一晶片和multi-wafer批处理功能。
流程模块提供良好的均匀性,高吞吐量、高精密的过程。我们的工具很好地证明,超过90%正常运行时间和流程,保证在安装过程中确保快速启动。